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滑动式双温区PECVD系统

产品型号: 型号:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL

产品报价: 面议



产品概述:
OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。
该系统包含等离子射频电源,80mm OD1600mm L的滑动式双温区管式炉,
4通道质量流量供气系统和机械泵机组,可用于生长纳米或石墨烯材料。



    设
    备
    名
    称
滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
    产
    品
    特
    点

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;
▪ 滑轨式可快速加热和快速冷却;   
▪ 两个加热区,温度梯度最大可达 200ºC;
▪ 可在温度范围较大的条件下制备材料,如碳、Zno纳米管或纳米线及单层石墨烯等。

 
    加
    热
    炉
    参
    数

▪ 最高温度:1200ºC(<30min),连续工作温度:1100℃;
▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统;
▪ 输入功率:208-240V,单相,最大功率:2.5KW;
▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗;
▪ 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。

 
   

    射
    频
    电
    源
▪ 公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。
 

  300W射频电源 500W射频电源 100W射频电源
输出功率 0-300W可调
(稳定性:±1%)
0-500W可调
(稳定性:±1%)
0-100W可调
(稳定性:±1%)
射频频率 13.56 MHz
(稳定性:±0.5%)
13.56 MHz
(稳定性:±0.5%)
13.56 MHz
(稳定性:±0.5%)
匹配 自动匹配 自动匹配 手动匹配
噪音 <50dB <50dB <50dB
冷却方式 风冷 风冷 风冷
输入电压 AC180-250V AC108-250V AC110-240V
图片      


型号 MFLG206-12-II-4CV-PE-SL(滑动式双温区PECVD系统)
 
 
 
 
性能
 控温范围 0-1200℃
控温精     度 <1000 ±0.1℃ ; ≥1000±1℃
可达温度 ≤1200℃
工作温度 ≤1100℃
恒温波动 ±1℃(测试点为1000℃)
温度均衡 ±3℃(测试点为1000℃)
升温速度 ≤10℃/min(上限),300℃以内:≤3-8℃/min,300℃以上:≤8-10℃/min(建议)
降温速度 700℃以上≤10℃/min
炉表温度 炉体表面温度小于室温+10(测量点为1000℃)
 
 
构成
外装 冷轧钢板,表面耐药性涂装
炉体 陶瓷纤维
传感器 K型热电偶
加热元件 硅碳棒
冷却风叶 轴流风扇
炉体结构 双层壳体结构,配有风冷系统
 
气路系统
 
承压说明 正压0.02Mpa,负压-0.04Mpa
压力表  
气体通路 标配四路
浮子流量计 量程3-30L/min
真空泵 TVP-9的双旋真空泵
卡箍  KF25卡箍
波纹管 波纹管用于连接管式炉与真空泵
 
 
控制器
控制方式 AI-518P仪表 PID控制
设定表示 数字设定/数字显示
超温保护 控制器一体型
超温设定 数字设定
运行功能 定制运行/程序运行(30段程序控温)
附加功能 偏差修正、停电补偿、锁键功能
定时器 1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止
安全 工作环境 RT±5~40℃
使用保障 开门断电 超温报警 漏电保护 过温保护 断偶提示
 
 
 
规格
炉管尺寸(D*W*H) 外径60mm 加热区域200mm
外形尺寸 2200mm L´800mm W´1500mm H
重量 610kg
输入功率 最大功率:2.5KW
电源电压 208-240V 单相
包装 包装类型 纸箱
外箱尺寸  
毛重  
附属品 高温手套  
坩埚钳  
坩埚  
 
选购品
真空系统  
供气系统 单通道浮子 单通道质子 两通道浮子 两通道质子 多通道浮子(防腐)
控温仪表 单回路、双回路和三回路控制模式


           真
           空
           系
           统
▪ 采用TVP-9的真空泵;
▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;
▪ 真空度可达10-2Torr。
 
供气系统 ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);
▪ 流量范围:

一路 0-100 sccm
二路 0-200 sccm
三路 0-200 sccm
四路 0-500 sccm
▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;
▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;
▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
 
    

 
产品尺寸和重量 ▪ 设备总体尺寸:2200mm L´800mm W´1500mm H
▪ 净重:610kg

 
   
承诺 ▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)
▪ 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
 
警示/应用提示
 

警示 ▪ 炉管内气压不可高于0.02 MPa;
▪ 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;
▪ 石英管的长时间使用温度<1100℃;
▪ 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态;
▪ 射频电源工作时,请勿触碰。
应用技术提示 ▪ 通入炉内气体流量需小于200 sccm,以避免冷的大气流对加热石英管造成冲击;
▪ 加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02 MPa,需立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂、法兰飞出等);
▪ 射频电源在低气压、低功率条件下起辉。